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掩模黑区并不黑:铬膜复折射率、菲涅尔公式与 AttPSM 6% 的设计来历

发布时间:2026/10/1 18:33:13来源:尧图网络
掩模黑区并不黑:铬膜复折射率、菲涅尔公式与 AttPSM 6% 的设计来历
《掩模版光学仿真与缺陷检测》专栏 · 第 6 讲副标题:复折射率、菲涅尔公式与薄膜——掩模"黑区"的光学真相前置知识:第 5 讲(平面电磁波与偏振)· 预计阅读 32 分钟上一讲结束时留了一个悬念:掩模的"黑区"根本不黑。一片 70 nm 厚的铬膜,在 266 nm 检测光下透射光强约为万分之三点六(OD ≈ 3.4)——不是零,而且透过去的这点光还携带着实打实的相位。掩模检测机照片上的一切反差:亮区多亮、暗区多暗、边缘什么形状、相位缺陷如何显形,全部由本讲的三个工具决定:复折射率、菲涅尔公式、薄膜特征矩阵。为什么这值得单独一讲?因为 die-to-database 仿真的输入端就是它们:掩模上每一点的透射复振幅t(x,y)=A(x,y)eiφ(x,y)t(x,y) = A(x,y)e^{i\varphi(x,y)}t(x
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